致力于成為全球領先的
自動化解決方案平臺
? 適用于超高純氣體、特殊氣體
? 極少顆粒產生
? 密封性好
? 耐腐蝕性強
? 閥體材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20
? 本體尺寸：1/4"-1/2"
? 工作壓力：145psig ( 10bar )
? 工作溫度：-10-80℃ ( 14-176℉ )
? 驅動壓力：60-90psig ( 6-8bar )
? 膜片材料：鎳鈷合金
? 本體尺寸：1/4"-1/2"
? 連接方式：卡套、可旋轉ECR內外螺紋、焊接、公頭ECR
? 閥體材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20
? 密封材料：PCTFE、Vespel? 、PFA
? 閥體泄漏率(向內泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下
? 閥體泄漏率(向外泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下
? 循環壽命：400W次以上
? 閥門內部流道：電解拋光處理 Ra≤0.13μm、Ra≤0.25μm
